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                              0512-62996345

                              SEM

                              • 產品介紹

                                  此設備為緊湊型場發射掃描電鏡,成像分辨率優于10nm。低加速電壓成像,有效減少電荷累積,非導電樣品,無須噴金噴碳處理,便可直接進行觀察。

                                技術參數
                                • 電子槍:場發射電子源
                                • 加速電壓:0.5 to 2 kV
                                • 束流:0.2 to 1 nA 
                                • 分辨率:<10 nm (@1kV)
                                • 放大倍數:250 to 130,000x  (2048×2048pixels) 
                                • 樣品尺寸:最大 100×60 mm
                                • 樣品高度:最大 30 mm

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